電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一，電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類有30多種，組分復雜。電子工業(yè)廢氣VOCS主要來源于對電子產品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等。一般來說，廢氣排放中風量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點，電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。

活性炭吸附法

吸附法也是應用比較廣泛的一種廢氣處理工藝，材料易得，設備簡單，處理速度快，效率高。這種方法主要利用活性炭以及沸石分子篩等多孔性物質將廢氣中的有毒有害分子吸附到材料中，達到空氣凈化的目的。活性炭吸附方法的處理效率能夠達到90%以上，技術相對比較成熟，但吸附劑用量很大，吸附劑的容量也有一定的限制，工作人員難以有效掌握吸附劑的飽和點而影響廢氣處理工作的持續(xù)開展。在活性炭的處理過程中，如果廢氣濃度較高，可以適當加大吸附介質的用量，并利用脫附裝置進行活性炭的循環(huán)使用，有效降低吸附介質的使用成本，提高廢氣處理工作的經濟效益。

光催化氧化法

光催化氧化法主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，使有機或無機高分子化合物的分子鏈在高能紫外線光束的照射下降解轉變成低分子化合物，如CO2和H2O等。利用UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產生游離氧（活性氧）和OH自由基，因游離氧和所攜正負電子不平衡，所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。眾所周知，臭氧對有機物具有極強的氧化作用，因此，光催化氧化主要運用于多個領域的異味和惡臭處理。