電子廠工業(yè)廢氣處理中通常會(huì)采用絕緣層材料、有機(jī)溶劑、清潔劑、顯像劑、光刻、蝕刻液等中帶有大量有機(jī)物的成分。在下加工工藝中，這一些侖機(jī)有機(jī)溶劑人邪分根據(jù)揮發(fā)變?yōu)閺U氣排放。目前，對(duì)于這樣的廢氣排放，關(guān)于電子廠工業(yè)廢氣我們可以采取焚燒處理、活性炭吸附、冷凝法、光催化氧化法、高溫等離子體凈化處理等六種方法。
電子工業(yè)廢氣VOCS普遍的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯方等。
電子廠工業(yè)廢氣處理方式 ,如下：
1、焚燒處理(RTO)：能源消耗大、運(yùn)行成本高，適合處理含量較高的、小風(fēng)速工業(yè)廢氣；
2、活性炭吸附法(活性碳)：投資小、加工工藝簡單
3、冷凝法：與吸收、活性炭吸附等方法共用，將工業(yè)廢氣活性炭吸附提純后冷凝、提取，回收利用之中有使用價(jià)值的有機(jī)物。這樣的方式 常見含量偏高、風(fēng)速小的工業(yè)廢氣處理場合。
缺點(diǎn)是：項(xiàng)目投資、能源消耗、運(yùn)行成本相對(duì)高，冷凝回收利用物提純處理后，仍有很大多數(shù)液態(tài)廢料一定要更進(jìn)一步處理。
4、沸石轉(zhuǎn)輪提純+焚燒處理：沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設(shè)備主要是依靠進(jìn)口的，自行機(jī)械設(shè)備暫不成熟。該加工工藝同樣與生產(chǎn)線設(shè)備、加工工藝存在匹配關(guān)聯(lián)；
5、光催化氧化法：采用C波段(僅低于割切不銹鋼的激光，強(qiáng)過氬弧焊機(jī)光源的數(shù)十倍強(qiáng)度)在機(jī)械設(shè)備內(nèi)，強(qiáng)裂化腐臭味的成分分子鏈，轉(zhuǎn)變的成分結(jié)構(gòu)，將高分子污染源的成分，裂化、氧化變?yōu)榈头肿訜o害的成分，如水和CO2等；
6、高溫等離子體凈化處理法：根據(jù)壓縮、高壓聚核充放變?yōu)楦邷氐入x子體。反應(yīng)器工作壓力增大，廢氣容量大幅膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，工業(yè)廢氣瞬間(萬分之5秒)變?yōu)楦邷氐入x子體，之中長分子鏈裂化成單質(zhì)原子，有機(jī)物凈化率在90%上下。
